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Nikon ZMI-4104C | ZMI-4104 | 动态干涉仪，位移传感和运动操控
- 品牌：Nikon
- 型号：ZMI-4104C
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
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产品详情
Zygo ZMI-4104C 是Zygo Corporation（一家专心于高精度光学丈量和计量技能的美国公司）的一款激光干涉仪产品，属于其ZMI系列动态干涉仪。该设备首要用于超精细方位丈量、位移传感和运动操控，广泛运用于半导体制造、光学元件检测、精细机械加工等范畴。
以下是环绕 Zygo ZMI-4104C 的技能参数、功用和运用场景的具体介绍：
1. 中心技能参数
丈量功用
- 丈量规划：
典型线性丈量规划可达 数十米（具体取决于装备），适用于长行程高精度定位。 - 分辨率：
亚纳米级（<0.1 nm），可结束超精细位移检测。 - 精度：
依赖于环境补偿（温度、气压、湿度），典型精度为 ±0.1 ppm（百万分之一）。 - 采样速率：
高速动态丈量，最高可达 MHz级（具体类型或许有所差异）。
光学体系
- 激光波长：
选用 稳频氦氖激光器（633 nm），确保长期稳定性和低噪声。 - 光学头兼容性：
支撑多通道（多轴同步丈量），可装备线性、视点或平面干涉仪探头。
环境适应性
- 环境补偿：
内置温度、气压、湿度传感器，实时修正空气折射率对丈量的影响。 - 抗振才能：
通过光学相位锁定技能，按捺机械振动干扰。
接口与通讯
- 输出信号：
数字（USB/Ethernet）或模仿（差分信号）接口，兼容PLC、CNC操控器。 - 软件支撑：
配套Zygo MetroPro 或 Mx™ 软件，支撑数据剖析、实时波形显现和自动化操控。
2. 中心功用
高精度动态丈量
- 实时监测高速运动体系的位移、速度、加速度，适用于光刻机、精细机床的闭环反应操控。
多轴同步丈量
- 支撑多探头同步作业，结束 X/Y/Z三轴+旋转视点 的复合丈量，用于杂乱运动途径校准。
纳米级外表描画剖析（部分装备）
- 结合Zygo干涉仪技能，可扩展为白光干涉仪或相移干涉仪，用于光学镜面、晶圆外表的粗糙度和平整度检测。
自动化集成
- 通过API或工业协议（如EtherCAT）与出产设备集成，结束全自动化出产线中的实时质量监控。
3. 典型运用场景
半导体制造
- 光刻机晶圆台的方位校准、扫描精度验证。
- 芯片封装设备的运动操控优化。
精细光学制造
- 光学透镜、反射镜的面形过失检测。
- 安闲曲面加工设备的动态过失补偿。
高端机床校准
- 数控机床导轨直线度、定位精度的标定。
- 五轴联动加工中心的几许过失修正。
科研与计量
- 纳米定位途径的功用验证。
- 空间望远镜等大型光学体系的装调。
4. 优势与竞品比照
Zygo ZMI-4104C 的中心优势
- 长期稳定性：氦氖激光器寿命长，适宜工业环境接连运行。
- 环境鲁棒性：实时补偿空气扰动，下降对恒温恒湿实验室的依赖。
- 灵活性：模块化规划，可扩展为干涉仪、测距仪或外表轮廓仪。
竞品参考
5. 运用注意事项
- 环境要求：防止强磁场或剧烈温度动摇，需定时校准环境传感器。
- 保护本钱：氦氖激光器寿命约5万小时，替换本钱较高。
- 数据处理：需合作Zygo软件或第三方东西（如MATLAB）进行信号剖析。
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