BROOKS 001-4130-03 热式质量流量控制器

1. 产品说明

• 型号：001-4130-03
• 类型：热式质量流量控制器（适用于非腐蚀性气体）
• 系列归属：SLA 5800 系列（工业级标准精度型）
• 核心特性： 
  • ±1.5% RD 精度（满量程精度 ±1.5% FS）
  • 全金属密封（符合SEMI F72防泄漏标准）
  • 多气体预设（出厂预标定N₂，可切换10种气体系数）
• 流体兼容性：
  Ar, N₂, O₂, He, CO₂, Air 等（禁用于腐蚀性/可燃性气体）

2. 关键参数与规格

3. 所属系列

• 主系列：Brooks SLA 5800 工业级MFC系列
• 同系列流量覆盖：

  型号后缀	满量程流量范围	精度等级	特殊版本
  -01	0-10 sccm	±1.8% RD	高纯度EP抛光
  -03	0-50 sccm	±1.5% RD	标准工业型（本例）
  -05	0-200 sccm	±1.2% RD	快速响应型
  -72	0-500 slm	±1.0% FS	大流量型

4. 核心特征

1. 热式传感技术 
   • 毛细管旁路设计 → 直接测量质量流量（非体积流量）
   • 温度补偿算法（-20~70°C自动校正）
2. 智能校准接口 
   • 通过 Brooks ProCal™ 软件进行现场标定（需适配器 0254-051）
   • 支持 NIST溯源证书（可选）
3. 多气体快速切换 
   • 内置 10组气体系数（通过DIP开关选择）
     | DIP位置 | 气体类型 | 位置 | 气体类型 |
     |------------|----------|----------|----------|
     | 1 | N₂ | 6 | He |
     | 2 | O₂ | 7 | CO₂ |
     | 3 | Ar | 8 | Air |
4. 安全冗余设计 
   • 流量超限报警（输出继电器触点）
   • 电源反接保护（±30V耐压）

5. 作用与用途

• 核心作用：
  精确控制气体质量流量，实现： 
  • 恒定流量供给（不受压力/温度波动影响）
  • 多气体比例混合（需多台MFC协同）
• 典型应用场景： 
  • 半导体 CVD腔室工艺气路控制（如SiH₄/N₂混合）
  • 光伏电池 PECVD氮化硅沉积
  • 分析仪器 载气流量调节（GC/质谱仪）

6. 应用领域

附加说明

系统集成示意图

  +---------------+     +---------------------+     +------------------+
  | 气源           |     | BROOKS 001-4130-03  |     | 工艺设备         |
  | (钢瓶/气柜)    |───>│ 入口 (1/4" VCR)     │───>│ (反应腔/混合器)  |
  +---------------+     |                     |     +------------------+
                         | 控制信号输入        │
                       ▲ │ (4-20mA/0-5V)       │
                       │ +----------+----------+
                       │            │
                  +----+-----+      ▼ 实时流量输出
                  | PLC/控制器 |←─── (0-5V模拟量)
                  +----------+

选型与配置要点

• 气体兼容性验证： 
  • 确认气体在 兼容列表 内（禁用H₂/Cl₂等腐蚀性气体）
  • 若需特殊气体（如NH₃），选 -HP高纯版本（流道EP抛光）
• 安装方向要求： 
  • 必须 水平安装（标签朝上）→ 垂直安装会导致精度偏差±3%
• 接地规范： 
  • 使用 独立接地线（线径≥18 AWG）连接壳体接地螺钉

校准与维护

• 校准周期：

  应用场景	建议校准间隔
  半导体工艺	6个月
  一般工业	12个月
  科研实验	按需标定

• 故障代码诊断：

  LED状态	含义	处理措施
  绿色常亮	正常运行	-
  红色闪烁（1Hz）	流量超限	检查设定值/气路堵塞
  红色常亮	传感器故障	返厂维修