其他
Alcatel FA111 无油干式真空泵
- 品牌：Alcatel
- 型号：FA111
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
- 联系人：肖小姐
- 电话：15359021002（VX同号）
- WhatsApp：+86 15359021002
- Skype：+86 15359021002
- 邮箱：luckyxiao.909@gmail.com
- 外贸官网：www.shenzhencx.com
-
产品详情
Alcatel FA111 无油干式真空泵
产品说明
Alcatel FA 111 是无油干式真空泵，采用 涡轮分子泵+爪式泵复合结构（双级压缩），极限真空 <5×10⁻⁴ mbar，抽速 110 m³/h（氮气），专为 半导体镀膜、分析仪器、真空钎焊 等 洁净真空环境 设计，完全 无碳氢污染，支持 ISO 63法兰 接口，可集成至超高真空（UHV）系统。
产品系列与定位
| 属性 | 详情 |
|---|---|
| 所属系列 | Alcatel FA系列干式泵（工业级无油真空解决方案） |
| 同系型号 | FA 100（100 m³/h）, FA 250（250 m³/h）, FA 600（600 m³/h） |
| 技术迭代 | 继承 Alcatel A 111系列 → 升级为 Pfeiffer Vacuum A3 系列 |
| 核心优势 | 零油污染 / 低振动设计 / 快速启停（≤6分钟达全速） |
| 控制单元 | 标配 PC 1100 控制器（RS-485/模拟量接口） |
核心参数与规格
| 类别 | 技术参数 |
|---|---|
| 抽气性能 | 氮气抽速：110 m³/h @ 50Hz / 极限真空：<5×10⁻⁴ mbar |
| 压缩比 | N₂：>1×10⁹ / H₂：>5×10³ / He：>10² |
| 转速范围 | 分子泵级：1500-1800 Hz（变频控制） / 爪式泵级：50 Hz |
| 启动时间 | ≤6分钟（常温至全速） / ≤12分钟（-40℃低温启动） |
| 极限压力 | 分子泵级：<5×10⁻⁸ mbar（需配前级泵） / 整机：<5×10⁻⁴ mbar |
| 气镇能力 | 可处理 10 g/h 水蒸气（防冷凝） |
| 噪音水平 | <65 dB(A)（1米距离） |
| 冷却方式 | 风冷（强制对流） / 可选水冷（最高环境温度 40℃） |
| 接口标准 | 进气口：ISO 63 KF / 排气口：ISO 25 KF |
| 电源要求 | 三相 400V±10%, 50/60Hz, 额定功率 3kW |
| 重量尺寸 | 58kg / 长×宽×高：430×250×320 mm |
核心特征
- 零污染干式技术
- 全金属密封（无橡胶密封圈，渗透率 <1×10⁻¹⁰ mbar·L/s）
- 抗腐蚀涂层（铝转子表面阳极氧化，耐酸碱气体）
- 高效复合结构
- 涡轮级：高速铝合金叶轮（21级动叶）捕获轻气体
- 爪式级：双爪型转子（4级压缩）处理重气体与粉尘
- 智能控制系统
- 过载保护（电流监测+温度传感，自动降速）
- 振动抑制（动态平衡补偿，振幅 <1 μm）
- 维护友好设计
- 快速清洁通道（无需拆卸泵体）
- 转子间隙监测（预警磨损状态）
核心作用与用途
三大核心功能：
- 洁净真空生成
- 替代油扩散泵，消除 碳氢污染（敏感工艺如MBE分子束外延）
- 维持 <10⁻⁶ mbar 高纯度环境（半导体薄膜沉积）
- 快速循环工艺
- 5分钟抽至工作真空（提升产线节拍）
- 耐受 频繁启停（>10万次启停寿命）
- 腐蚀性气体处理
- 兼容 C₂F₆/O₂/Cl₂ 等蚀刻气体（防护涂层设计）
- 可抽排 纳米颗粒（防卡死爪式结构）
应用领域
| 行业 | 典型场景 |
|---|---|
| 半导体制造 | PVD/CVD镀膜腔体, 离子注入机, 光刻胶去胶设备 |
| 分析仪器 | 质谱仪（ICP-MS/GC-MS）, 电子显微镜（SEM/TEM）真空系统 |
| 真空钎焊 | 航天钛合金热交换器钎焊, 核燃料棒密封焊接 |
| 光伏产业 | 硅异质结（HJT）电池板镀膜, 钙钛矿太阳能电池封装 |
| 科研设施 | 同步辐射光束线, 聚变装置（托卡马克）第一壁处理 |
性能对比表
| 参数 | FA 111 | 油扩散泵 | 旋片泵 |
|---|---|---|---|
| 极限真空 | <5×10⁻⁴ mbar | <5×10⁻⁶ mbar | <1×10⁻² mbar |
| 洁净度 | 100%无油 | 油蒸气污染 | 油蒸气污染 |
| 抽10⁻³ mbar时间 | <5分钟 | >30分钟 | >60分钟 |
| 维护周期 | ≥5年 | 每6个月换油 | 每3个月换油 |
系统集成方案
[典型半导体镀膜系统] 工艺腔（PVD） │ ├─ FA 111 分子泵（主抽）→ PC 1100 控制器 │ 排气口→ 粉尘过滤器 → 尾气处理 │ └─ 罗茨泵（前级，维持2-10 mbar） 真空度： 大气→10⁻² mbar：罗茨泵工作 10⁻²→10⁻⁶ mbar：FA 111 全速运行
操作与维护
- 启停规范
- 启动：先开前级泵至 10 mbar → 启动FA 111
- 停机：先停FA 111 → 延迟10分钟停前级泵（防返油）
- 环境适应
- 工作温度：5-40℃（>40℃需水冷套）
- 排气背压：<1500 mbar（防止过载）
- 预防性维护
- 每2000小时：清洁进气过滤器
- 每10000小时：检查转子间隙（标准 0.1±0.02mm）
选型代码解析
FA 111 │ └─ 抽速：111 ≈ 110 m³/h（标称值） └─── 干式复合泵（FA系列） 可选配置： -W：水冷套 -P：粉尘预过滤模块 -E：防爆认证版（ATEX）
故障诊断与处理
| 故障代码 | 含义 | 处理措施 |
|---|---|---|
| E01 | 过电流故障 | 检查电源相位平衡 |
| E05 | 转子卡死 | 手动盘车（断电操作） |
| E12 | 温度超限（>120℃） | 清洁散热片或启用水冷 |
| E20 | 振动超标（>5 mm/s） | 重新动平衡校准 |
技术演进与替代
- 现代替代型号：Pfeiffer Vacuum A3 110（磁悬浮轴承，抽速 120 m³/h）
- 升级优势：
- 功耗降低 40%（磁悬浮无摩擦）
- 振动 <0.1 μm（适用TEM级设备）
- 支持 EtherCAT通信（工业4.0集成）
栏目导航
新闻资讯
联系我们
电 话：15359021002
联系人：肖小姐
手 机：15359021002
邮 箱：luckyxiao.909@gmail.com
地 址：深圳市宝安区西乡街道臣田社区宝民二路东方雅苑2层B39