其他
AMAT 0090-76133 高真空阀门组件
- 品牌：AMAT
- 型号：0090-76133
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
- 联系人：肖小姐
- 电话：15359021002（VX同号）
- WhatsApp：+86 15359021002
- Skype：+86 15359021002
- 邮箱：luckyxiao.909@gmail.com
- 外贸官网：www.shenzhencx.com
-
产品详情
AMAT 0090-76133 高真空阀门组件
1. 产品说明
AMAT 0090-76133 是应用材料（Applied Materials）Endura® 物理气相沉积（PVD）平台 的 高真空阀门组件，属于 气路传输系统关键备件。用于控制工艺腔室与传输腔室之间的 超高纯度气体/金属蒸汽流路隔离，确保薄膜沉积过程的洁净度与真空稳定性。
2. 产品参数
| 参数类别 | 详细说明 |
|---|---|
| 阀门类型 | 气动式闸阀（Pneumatic Gate Valve） |
| 密封等级 | ≤1×10⁻⁹ Torr（超高真空，符合SEMI F57标准） |
| 接口尺寸 | DN 40 ISO-KF 法兰（或定制CF 法兰） |
| 驱动方式 | 双作用气动执行器（工作气压：0.4-0.6 MPa） |
| 材料兼容性 | 阀体：316L 不锈钢（EP级抛光）<br>密封圈：全氟醚橡胶（FFKM）抗等离子腐蚀 |
| 温度耐受 | -20°C 至 +150°C（工艺环境） |
3. 产品规格
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm·cc/sec（氦检漏）
- 表面粗糙度：Ra ≤0.4 μm（电抛光）
- 颗粒控制：Class 1 洁净室包装（ISO 14644-1）
- 认证标准：
- SEMI F57（超高真空部件规范）
- SEMI S2/S8（设备安全与静电放电）
- 使用寿命：≥500,000 次循环（AMAT内部验证）
4. 所属系列与关联型号
| 系列 | 型号示例 | 功能差异 |
|---|---|---|
| Endura PVD 阀门 | 0090-76133（基础款） | 标准传输隔离阀 |
| 0090-76134 | 高温兼容版本（≤250℃） | |
| 0090-85571 | 抗金属粘附涂层阀门（TiN沉积专用） | |
| 替代型号 | VAT 33452-GE9 | 第三方兼容阀门（需AMAT认证） |
5. 核心特征
- 超高真空性能：
- 双O型圈密封设计，防止颗粒物生成
- 零死角流道，减少薄膜残留
- 可靠性设计：
- 气动执行器带位置传感器（反馈开/关状态至设备PLC）
- 弹簧故障安全机制（断电时自动关闭）
- 工艺兼容性：
- 耐受Ar⁺/N₂等离子体轰击
- 兼容Al、Cu、Ti等金属蒸汽环境
6. 作用与用途
- 核心作用：
在PVD设备中实现 腔室间的物理隔离，防止交叉污染，维持沉积工艺的纯度与均匀性。 - 典型应用场景：
- 晶圆传输过程中隔离负载锁（Load Lock）与传输腔（Transfer Module）
- 工艺腔（Process Chamber）进/出料时的气路密封
- 维护时切断气源，保障人员安全
栏目导航
新闻资讯
联系我们
电 话：15359021002
联系人：肖小姐
手 机：15359021002
邮 箱：luckyxiao.909@gmail.com
地 址：深圳市宝安区西乡街道臣田社区宝民二路东方雅苑2层B39