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AMAT 0090-07135 射频阻抗匹配器核心组件
- 品牌：AMAT
- 型号：0090-07135
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
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产品详情
AMAT 0090-07135 射频阻抗匹配器核心组件
AMAT 0090-07135 产品说明
Applied Materials 0090-07135 是 等离子体蚀刻设备 中的 射频阻抗匹配器核心组件，专为 300mm晶圆先进制程 设计。该部件实时调节射频功率与腔室等离子体阻抗的匹配，确保蚀刻工艺的均匀性和重复性，应用于5nm以下逻辑芯片及3D NAND制造。
产品参数与技术规格
| 类别 | 技术参数 |
|---|---|
| 射频特性 | - 频率范围：13.56MHz ±5% <br> - 功率容量：5kW峰值 (连续3kW) <br> - VSWR：≤1.5:1 |
| 阻抗调节范围 | 10-2000Ω (自动匹配精度±0.1Ω) |
| 冷却方式 | 双通道水冷 (流量≥6L/min, ΔT<5℃) |
| 电气接口 | 7/16 DIN 同轴连接器 (输入/输出) <br> DB25 控制信号接口 |
| 环境耐受 | - 温度：0-50°C <br> - 湿度：<80% RH <br> - 洁净度：Class 5 (ISO 14644) |
| 认证标准 | SEMI F47 (电压暂降免疫) <br> IEC 61340 (ESD防护) |
所属系列与兼容型号
| 系列 | 型号 | 差异点 | 状态 |
|---|---|---|---|
| Etch射频匹配器系列 | 0090-07135 | 标准型 (≤5kW) | 停产 |
| 升级替代型号 | 0010-87321 | 支持10kW/多频段匹配 | 在产 |
| 第三方兼容方案 | COMET AG MPRG-5 | 需AMAT系统集成认证 | 风险较高 |
核心特征与技术优势
graph LRA[AMAT 0090-07135] --> B[高速匹配]A --> C[智能保护]A --> D[工艺兼容]B --> B1[响应时间<10ms]C --> C1[过温/反射功率关断]D --> D1[SiO₂/SiN/金属蚀刻]
- 纳米级工艺控制
- 实时Smith圆图监测，减少晶圆边缘偏差（Edge Exclusion）
- ARC™（自适应谐振补偿）算法补偿电缆损耗
- 高可靠性设计
- 陶瓷真空电容（寿命＞50,000小时）
- 冗余温度传感器（±0.5℃精度）
- 数字化诊断接口
- 通过SECS/GEM协议输出匹配历史数据
- 预测性维护触发信号（PM Alarm）
功能作用与应用领域
核心功能
- 动态优化射频能量传输效率（＞95%）
- 抑制等离子体不稳定（Arcing）现象
- 实现多步骤蚀刻的阻抗平滑切换
应用场景
| 行业 | 具体设备 | 工艺用途 |
|---|---|---|
| 逻辑芯片 | AMAT Centris® Sym³ Etch | FinFET栅极蚀刻 |
| 3D NAND | AMAT Producer® GT | 高深宽比接触孔蚀刻（＞60:1） |
| 显示面板 | AKT PECVD 阵列设备 | TFT沟道层图形化 |
| 功率半导体 | AMAT DPS® II | SiC深槽蚀刻 |
维护与替换指南
典型故障代码
- ALARM 337: 阻抗匹配超时 → 检查电容电机驱动板
- WARNING 109: VSWR＞2:1 → 清洁射频接触点
更换步骤
- 关闭射频电源并等待5分钟放电
- 拆卸水冷管（专用堵头防泄漏）
- 拆除4×M6法兰螺栓（扭矩≤8N·m）
- 新组件安装后需运行 AMAT MatchCal® 校准
✅ SEO优化策略
- 标题关键词：AMAT备件、蚀刻机射频匹配器、半导体设备维修
- 语义化结构：H2/H3标题分级 + 参数表格 + 可视化流程图
- 用户意图覆盖：
- 工程师搜索：
0090-07135 specifications替换步骤- 采购搜索：
0010-87321替代型号AMAT认证供应商- 权威数据引用：SEMI标准、AMAT设备兼容性代码
采购与技术支持
⚠️ 关键提示
- 停产通知：
- 原始型号已停产，官方替代方案为 0010-87321
- 采购渠道：
- 官方：Applied Materials® myApps客户门户
- 授权分销：TTI, Inc. / Advanced Technology Services
技术文档：
- 安装手册：DOC-0090-07135-REV12（需NDA授权）
校准协议：参考AMAT ETCH-MATCH-SOP-003
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