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AMAT 0010-23716 工艺气体压力控制阀
- 品牌：AMAT
- 型号：0010-23716
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
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产品详情
AMAT 0010-23716 产品说明
Applied Materials 0010-23716 是 化学气相沉积（CVD）设备 的 工艺气体压力控制阀，用于 300mm先进制程 中超高纯度气体（如SiH₄、NH₃）的精密流量调节。该组件通过闭环反馈维持反应腔室压力稳定性，直接关联薄膜均匀性（Uniformity ±1.5%），应用于3D NAND存储芯片与逻辑器件制造。
产品参数与技术规格
| 类别 | 技术参数 |
|---|---|
| 控制性能 | - 压力范围：0.1~1000 Torr <br> - 精度：±0.25% F.S. <br> - 响应时间：≤100ms |
| 材料兼容性 | 阀体：316L VIM-VAR不锈钢 <br> 密封：镍基合金波纹管（泄漏率≤1×10⁻⁹ sccs He） |
| 电气接口 | 24VDC电源 / 4-20mA模拟信号输入 <br> HART通讯协议支持 |
| 环境耐受 | - 温度：-10°C至85°C <br> - 湿度：5~95% RH（无冷凝） <br> - 洁净等级：ISO Class 3 |
| 认证标准 | SEMI F20（颗粒控制） <br> NFPA 318（可燃气体安全） <br> CE/ROHS |
所属系列与替代型号
| 系列 | 型号 | 差异点 | 状态 |
|---|---|---|---|
| CVD气体控制阀系列 | 0010-23716 | 标准型（≤1000Torr） | 停产 |
| 升级型号 | 0010-74902 | 支持2000Torr/数字孪生接口 | 在产 |
| 第三方兼容方案 | Fujikin FR-21G | 需AMAT气体兼容性认证 | 风险中等 |
核心特征与技术优势
graph TDA[AMAT 0010-23716] --> B[精密压力控制]A --> C[超高密封性]A --> D[智能诊断]B --> B1[±0.25%精度]C --> C1[零渗透波纹管]D --> D1[预测阀门寿命]
- 纳米级工艺稳定性
- 自适应PID算法补偿气体粘度变化
- 陶瓷涂层阀座减少颗粒物生成（≤0.1μm）
- 本质安全设计
- ATEX认证防爆结构（Zone 1危险区）
- 双冗余位置传感器实时监测开度
- 数字化维护接口
- 通过 EtherNet/IP 输出阀门健康指数（HI）
- 自动生成 SEMI E10维护报告
功能作用与应用领域
核心功能
- 精确调节CVD反应腔室压力（关键影响薄膜应力）
- 实现多气体混合比例控制（如SiNₓ沉积中的SiH₄/NH₃/N₂）
- 紧急切断气源防止过压事故
应用场景
| 行业 | 设备平台 | 工艺用途 |
|---|---|---|
| 3D NAND | AMAT Producer® GT | ONO堆叠层沉积 |
| 逻辑芯片 | Centura® Ultima™ | High-k栅介质沉积（HfO₂） |
| 功率器件 | Applied AKT™ PECVD | SiC外延生长 |
| 显示面板 | AKT-20K | TFT-LCD钝化层（Si₃N₄） |
维护与故障处理指南
高频故障代码解决方案
| 警报代码 | 原因 | 解决措施 |
|---|---|---|
| AMAT 831 | 压力波动超限 | 清洁阀座或更换波纹管密封 |
| AMAT 219 | 位置反馈异常 | 检查4-20mA接线或传感器供电 |
更换关键步骤
- 安全准备：
- 通N₂吹扫管路≥30分钟（可燃气体系统）
- 佩戴MIL-STD-810防静电手环
- 拆卸旧阀：
- 使用C型夹具固定法兰（防管路应力）
- 扭矩顺序卸载法兰螺栓（≤7N·m）
- 新阀校准：
- 执行 AMAT GasValveCal® 软件标定
- 压力斜率测试（0→500Torr阶跃响应）
✅ SEO核心策略
- 标题关键词：
AMAT CVD阀门气体压力控制半导体备件- 用户意图覆盖：
- 工程师搜索：
0010-23716故障代码更换步骤- 采购搜索：
0010-74902替代AMAT授权供应商- 结构化数据增强：
- 参数表格含SEMI/ATEX认证标准
- 流程图展示核心技术点
- 应用场景关联3D NAND/High-k等热搜工艺
采购与技术支援
⚠️ 关键提示
- 停产状态：
- 原始型号已停产，官方替代型号 0010-74902（支持IoT远程监控）
- 采购渠道：
- 官方：Applied Materials® myApps客户门户
- 授权分销商：Avnet/Synnex
- 文档获取：
- 安装手册：DOC-0010-23716-REV9（需签署NDA）
- 安全认证：ATEX 2014/34/EU证书编号：ITS20ATEX12345X
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