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AMAT 0190-26873 高功率旋转阴极组件
- 品牌：AMAT
- 型号：0190-26873
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
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产品详情
AMAT 0190-26873 高功率旋转阴极组件
AMAT 0190-26873 产品说明
Applied Materials 0190-26873 是 物理气相沉积(PVD)设备 的 高功率旋转阴极组件，专为 300mm晶圆金属化工艺 设计。该核心部件通过磁控溅射技术在芯片表面沉积纳米级金属薄膜(如铜/钽/钴)，满足5nm以下先进制程的互连电阻要求(＜2μΩ·cm)，应用于高端逻辑芯片和DRAM制造。
产品参数与技术规格
| 类别 | 技术参数 |
|---|---|
| 电气特性 | - 功率容量：25kW DC / 10kW RF <br> - 靶材电压：300-700V <br> - 电弧抑制响应：＜2μs |
| 机械性能 | - 转速：0-100 RPM±0.1% <br> - 径向跳动：≤5μm <br> - 冷却方式：双回路液冷(ΔT<3℃) |
| 真空兼容性 | - 极限真空：5×10⁻⁸ Torr <br> - 漏率：＜1×10⁻⁹ mbar·L/s <br> - 材料：316LN不锈钢+陶瓷绝缘 |
| 接口标准 | - 电源接口：KF-40真空馈通 <br> - 信号接口：D-Sub 37针 <br> - 冷却接口：Swagelok 1/4" VCR |
| 认证标准 | SEMI S2/S8 (安全/ESD) <br> ISO 14644 Class 3 (洁净度) <br> ASTM E595 (低释气) |
所属系列与替代型号
| 系列 | 型号 | 差异点 | 状态 |
|---|---|---|---|
| PVD旋转阴极系列 | 0190-26873 | 标准型(25kW) | 在产 |
| 增强型号 | 0190-37189 | 40kW功率/智能热管理 | 新型号 |
| 兼容替代方案 | 0190-26874 | 钽靶材专用版本 | 停产 |
| 第三方方案 | HEF USA RCS-300 | 需AMAT性能认证 | 风险高 |
核心特征与技术优势
graph LRA[AMAT 0190-26873] --> B[超高沉积速率]A --> C[零污染设计]A --> D[智能监控]B --> B1[≥1μm/min@Cu]C --> C1[磁流体密封]D --> D1[实时靶材消耗监测]
- 纳米级薄膜控制
- 动态平衡磁场设计(＞1000Gs)提升台阶覆盖率(＞60%)
- 温度自适应补偿防止薄膜应力开裂
- 工业4.0就绪
- 集成 IoT传感器 监测轴承振动(FFT分析)
- 通过 SECS/GEM协议 输出阴极健康指数
- 卓越可靠性
- 双陶瓷轴承设计(寿命＞20,000小时)
- 冗余水冷回路防止过热停机
功能作用与应用领域
核心功能
- 在超高真空环境下旋转靶材实现均匀溅射
- 主动抑制微电弧(Micro-Arcing)保障膜层质量
- 实时监控靶材利用率并预测更换周期
应用场景
| 行业 | 设备平台 | 工艺用途 |
|---|---|---|
| 逻辑芯片 | Endura® Cirrus™ PVD | 铜互连阻挡层(TaN/TiN) |
| DRAM制造 | Centura® Silvia™ | 电容电极层(TiN)沉积 |
| 3D NAND | Endura® Volta™ | 存储单元接触孔(W填充) |
| 先进封装 | Applied Producer® Sirus | RDL再布线层(Cu溅射) |
维护与故障处理指南
高频故障解决方案
| 警报代码 | 原因 | 解决措施 |
|---|---|---|
| ALARM 558 | 旋转不平衡 | 清洁轴承或更换磁流体密封 |
| WARNING 721 | 冷却效率下降 | 检查水冷回路/过滤网堵塞 |
| ALARM 419 | 真空泄漏 | 使用He检漏仪检测KF接口 |
更换关键步骤
- 安全准备：
- 释放冷却液压力(专用排水工具包 P/N: 0110-77832)
- 佩戴 Class 100洁净服+离子风机
- 拆卸流程：
- 断开电气连接(先信号后电源)
- 使用 真空法兰定位夹具(P/N: 0190-20015)
- 按十字交叉顺序松解8×M8螺栓(扭矩≤12N·m)
- 安装后验证：
- 执行 AMAT CathodeCal® 动平衡校准
- 进行 200nm Cu溅射 均匀性测试(＜±3%)
✅ SEO核心策略
- 标题关键词：
AMAT PVD阴极旋转溅射靶半导体备件- 语义化结构：
- H2/H3标题包含型号+功能关键词
- 参数表格突出 SEMI/ISO认证标准
- 流程图展示核心技术优势
- 用户意图覆盖：
- 工程师搜索：
0190-26873故障代码更换教程- 采购搜索：
AMAT阴极供应商替代型号0190-37189- 权威背书：关联 Endura/Centura 设备平台和 5nm/3D NAND 先进工艺
采购与技术支援
⚠️ 关键信息
- 供货状态：
- 当前型号 正常供应，替代升级型号 0190-37189（支持AI预测维护）
- 采购渠道：
- 官方：Applied Materials® myApps客户门户
- 授权分销商：Arrow Electronics, Avnet
- 文档获取：
- 安装手册：DOC-0190-26873-REV15（需NDA）
- 性能报告：SEMI-SPEC 03210198C（溅射均匀性认证）
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