其他
AMAT 0021-53986 高精度束流控制模块
- 品牌：AMAT
- 型号：0021-53986
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
- 联系人：肖小姐
- 电话：15359021002（VX同号）
- WhatsApp：+86 15359021002
- Skype：+86 15359021002
- 邮箱：luckyxiao.909@gmail.com
- 外贸官网：www.shenzhencx.com
-
产品详情
AMAT 0021-53986 产品说明
Applied Materials 0021-53986 是 半导体离子注入设备 的 高精度束流控制模块，专门用于 先进制程节点(5nm以下)的 掺杂工艺控制。该组件通过电磁场精准调控离子束角度(±0.1°)和束流密度(稳定性±0.5%)，实现超浅结(USJ)形成和阈值电压调控，应用于FinFET和GAA晶体管制造。
产品参数与技术规格
| 类别 | 技术参数 |
|---|---|
| 束流控制 | - 能量范围：0.2-80keV <br> - 束流精度：±0.5% <br> - 角度控制：±0.1° |
| 真空兼容性 | - 极限真空：5×10⁻⁸ Torr <br> - 漏率：＜5×10⁻¹⁰ mbar·L/s <br> - 材料：316L EP不锈钢 |
| 电气特性 | - 高压隔离：100kV DC <br> - 信号接口：光纤隔离D-sub <br> - 响应时间：＜10μs |
| 冷却系统 | 双通道液冷设计 <br> - 流量：4L/min <br> - 温控精度：±0.5℃ |
| 认证标准 | SEMI S2/S8 (安全/ESD) <br> ISO 14644 Class 2 (洁净度) <br> IEC 61010-1 (电气安全) |
所属系列与替代型号
| 系列 | 型号 | 差异点 | 状态 |
|---|---|---|---|
| 离子束控制模块系列 | 0021-53986 | 标准型(80keV) | 在产 |
| 升级型号 | 0021-75822 | 120keV/AI束流优化 | 新型号 |
| 兼容型号 | 0021-53985 | 低能量专用版(≤30keV) | 停产 |
| 第三方方案 | Axcelis ATX-3000 | 需AMAT接口适配器 | 风险高 |
核心特征与技术优势
graph LRA[AMAT 0021-53986] --> B[纳米级精度]A --> C[超低污染]A --> D[智能诊断]B --> B1[±0.1°角度控制]C --> C1[无磁性材料]D --> D1[预测性维护]
- 先进掺杂控制
- 自适应静电透镜系统补偿空间电荷效应
- 飞行时间质谱(TOF-MS)实时监控离子纯度
- 工业4.0集成
- 内置 振动频谱分析传感器 检测微位移
- 通过 EtherCAT 输出束流均匀性报告
- 可靠性与安全性
- 双冗余高压电源防止工艺中断
- X射线屏蔽设计符合NCRP-116标准
功能作用与应用领域
核心功能
- 精确控制硼/磷/砷离子注入深度和浓度
- 消除沟道效应(channeling effect)
- 实时监测束流稳定性并自动校正
应用场景
| 行业 | 设备平台 | 工艺用途 |
|---|---|---|
| 逻辑芯片 | VIISta 900XP | FinFET源漏极延伸区注入 |
| 3D NAND | VIISta PLAD | 多晶硅沟道掺杂 |
| CIS传感器 | Applied PIII | 背面深阱注入(BTI) |
| 功率器件 | VIISta HC3 | SiC JFET沟道区掺杂 |
维护与故障处理指南
高频故障解决方案
| 警报代码 | 原因 | 解决措施 |
|---|---|---|
| ALARM 302 | 束流偏移超标 | 校准静电透镜电压参数 |
| WARNING 415 | 真空维持异常 | 检查分子泵/更换密封圈 |
| ALARM 688 | 冷却液电导率超标 | 更换去离子水/清洗管路 |
更换关键步骤
- 安全准备：
- 高压放电操作(专用工具 P/N: 0205-33451)
- 佩戴 铅橡胶围裙+辐射剂量计
- 拆卸流程：
- 解除束线准直锁定机构(需专用六角扳手)
- 使用 无磁工具套装(P/N: 0021-60007)
- 按对角线顺序松解真空法兰螺栓
- 安装后验证：
- 执行 BeamTune® 自动校准程序
- 进行 硼离子注入测试(剂量均匀性±1.5%)
✅ SEO核心策略
- 标题关键词：
AMAT束流控制离子注入模块半导体备件- 语义化结构：
- H2标题包含完整型号+核心功能
- 参数表格突出 SEMI/ISO/IEC认证
- 流程图展示技术优势链
- 用户意图覆盖：
- 工程师搜索：
0021-53986故障代码离子注入校准- 采购搜索：
AMAT VIISta备件升级型号0021-75822- 权威背书：关联 FinFET/GAA 先进架构和 5nm/3nm 节点工艺
采购与技术支援
⚠️ 关键信息
- 供货状态：
- 当前型号 正常供应，建议升级型号 0021-75822（AI优化算法）
- 采购渠道：
- 官方：Applied Materials® myApps客户门户
- 授权分销商：TTI Inc., Digi-Key Electronics
- 文档获取：
- 维修手册：DOC-0021-53986-REV12（需NDA）
- 安全认证：CE证书编号：AMAT-EMC-2023-53986
栏目导航
新闻资讯
联系我们
电 话：15359021002
联系人：肖小姐
手 机：15359021002
邮 箱：luckyxiao.909@gmail.com
地 址：深圳市宝安区西乡街道臣田社区宝民二路东方雅苑2层B39