其他
AMAT 0100-09145 反应腔室内部组件
- 品牌：AMAT
- 型号：0100-09145
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
- 联系人：肖小姐
- 电话：15359021002（VX同号）
- WhatsApp：+86 15359021002
- Skype：+86 15359021002
- 邮箱：luckyxiao.909@gmail.com
- 外贸官网：www.shenzhencx.com
-
产品详情
重要说明
- 备件特性
0100-09145是典型的AMAT备件编号（非整机），常见于反应腔室内部组件，如：- 气体分配盘（Gas Distribution Showerhead）
- 基座（Heater/Pedestal）配件
- 射频电极绝缘件
- 腔室密封件或传感器组件
- 参数依赖设备
具体参数完全取决于所服务的设备型号（如：Centura, Endura, Producer平台）。
产品信息
| 参数类别 | 可能描述 |
|---|---|
| 物料类型 | 陶瓷/石英/高级聚合物零部件（耐高温、耐腐蚀） |
| 典型应用设备 | CVD（化学气相沉积）或 Etch（蚀刻）腔室（需用户确认机型） |
| 关键特性 | - 高纯度材质（Al₂O₃, SiC, Y₂O₃涂层等）<br>- 精密尺寸公差（±0.05mm级）<br>- 真空兼容性 |
| 性能参数 | - 工作温度：最高可达 600°C+<br>- 耐压范围：高真空至常压<br>- 射频兼容性：13.56MHz |
栏目导航
新闻资讯
联系我们
电 话：15359021002
联系人：肖小姐
手 机：15359021002
邮 箱：luckyxiao.909@gmail.com
地 址：深圳市宝安区西乡街道臣田社区宝民二路东方雅苑2层B39