其他
AMAT 0190-27952
- 品牌：AMAT
- 型号：0190-27952
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
- 联系人：肖小姐
- 电话：15359021002（VX同号）
- WhatsApp：+86 15359021002
- Skype：+86 15359021002
- 邮箱：luckyxiao.909@gmail.com
- 外贸官网：www.shenzhencx.com
-
产品详情
AMAT 0190-27952 产品说明
Applied Materials 0190-27952 是 300mm 等离子体工艺设备的 高性能静电卡盘陶瓷盘，专为 先进刻蚀与CVD制程（≤5nm节点）设计。该组件采用 氮化铝（AlN）基体 与 多区温控技术，实现 晶圆温度均匀性±0.5℃（@150℃） 及 氦气背吹泄漏率＜1×10⁻⁸ Torr·L/s，满足 GAA晶体管刻蚀 的等离子体稳定性需求（波动≤1.5%）。
产品参数与技术规格
| 类别 | 技术参数 |
|---|---|
| 基础参数 | - 适用晶圆：300mm（兼容200mm适配环）<br> - 厚度：19.5±0.1mm<br> - 平面度：＜5μm TIR |
| 静电性能 | - 夹持电压：±1500V DC<br> - 吸附时间：＜1.5s<br> - 残留电荷：＜0.1V（泄放后） |
| 热管理 | - 工作温度：-20℃~300℃<br> - 温控分区：3区独立<br> - 升温速率：5℃/s（RT→150℃） |
| 结构特性 | - 基体材质：氮化铝陶瓷（AlN≥99.5%）<br> - 电极结构：双极型硼掺杂<br> - 表面处理：阳极氧化（Ra≤0.05μm） |
| 认证标准 | SEMI E152-0307（静电卡盘）<br>IEC 60601-1（电气安全）<br>UL 94 V-0（阻燃） |
所属系列与迭代型号
| 系列 | 型号 | 技术演进 | 适用设备平台 |
|---|---|---|---|
| eChuck Pro 系列 | 0190-27952 | 标准工业版（3区温控） | Centura® Mesa / Producer® GT |
| 低热容型 | 0190-88754 | 热容降低40%/响应速度提升 | Endura® Verity™ |
| 高功率型 | 0190-70246 | 支持10kW RF功率/增强冷却 | AdvantEdge™ G3 |
| 第三方兼容 | NTK ESC-300A3 | 需AMAT接口转换器 | 温控精度风险 |
核心特征与技术优势
graph LRA[0190-27952] --> B[纳米级平整度]A --> C[毫秒级温控]A --> D[等离子体免疫]B --> B1[激光干涉校准]C --> C1[嵌入式RTD传感器]D --> D1[法拉第屏蔽层]
- 先进热管理技术
- 梯度热阻设计 消除边缘效应（边缘-中心温差≤1℃）
- 实时补偿 等离子体热负载波动（响应时间＜100ms）
- 智能诊断系统
- 监测 介电层磨损指数（DWI） 预测寿命
- 生成 热像图报告 至 EAP系统（温度分布SD≤0.3℃）
- 极端环境耐受
- 抗等离子侵蚀＞10,000 wafer passes（CF₄/O₂环境）
- 通过 SEMI S2 抗震认证（7Grms@5-2000Hz）
功能作用与应用领域
核心功能
- 晶圆 静电吸附固定（替代机械夹持）
- 精确 热传导控制（通过氦气背吹界面）
- 提供 RF功率耦合通路（等离子体激发）
应用场景
| 行业 | 设备平台 | 工艺类型 | 关键指标 |
|---|---|---|---|
| 逻辑芯片 | Centura® Mesa™ | FinFET侧壁刻蚀 | 关键尺寸均匀性±0.2nm |
| 3D NAND | Producer® GT PECVD | 高深宽比台阶覆盖 | 膜厚均匀性±1.5% |
| DRAM | AdvantEdge™ G3 | 电容器深孔刻蚀 | 深宽比＞60:1 |
| 功率器件 | Applied Varian™ | SiC离子注入 | 晶圆翘曲控制＜100μm |
维护与故障处理
高频故障解决方案
| 警报代码 | 故障现象 | 根因分析 | 解决措施 |
|---|---|---|---|
| ERR ESC3 | 吸附失败 | 表面污染物/介电层击穿 | 等离子清洗/更换陶瓷盘 |
| ALM T09 | 温度超差 | RTD传感器失效 | 更换传感器模块（P/N:0190-81422） |
| WARN H78 | 氦气泄漏 | 密封圈老化/微裂纹 | 氦质谱检漏/更换密封组件 |
更换操作规范
- 安全准备：
- 切断 高压电源 并等待30分钟（残余电荷释放）
- 佩戴 静电消散服 + 离子风机
- 拆卸流程：
- 标记 RF馈线相位（避免阻抗失配）
- 使用 陶瓷专用工具 拆卸固定螺栓（扭矩 8±0.2N·m）
- 真空吸吊搬运（AMAT Handle Kit P/N:0030-30995）
- 性能验证：
- 运行 ChuckCal® 热均匀性测试（150℃下±0.5℃）
- 执行 10,000V耐压测试（漏电流＜1μA）
栏目导航
新闻资讯
联系我们
电 话：15359021002
联系人：肖小姐
手 机：15359021002
邮 箱：luckyxiao.909@gmail.com
地 址：深圳市宝安区西乡街道臣田社区宝民二路东方雅苑2层B39