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AMAT 0190-07970 超高真空金属密封角阀
- 品牌：AMAT
- 型号：0190-07970
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产品详情
AMAT 0190-07970 超高真空金属密封角阀
AMAT 0190-07970 产品说明
Applied Materials 0190-07970 是 300mm 晶圆设备的 超高真空金属密封角阀，专为 等离子体工艺腔（≤10⁻⁸ Torr） 设计。该阀门通过 ISO-KF 40 法兰及 双作用气缸驱动，实现 ＜1×10⁻⁹ Pa·m³/s 泄漏率 和 ＜0.5 秒启闭速度，满足 3D NAND 多层堆叠 和 GAA 晶体管 制程的颗粒控制要求（≥0.1μm 颗粒增加＜3 颗/周期）。
产品参数与技术规格
| 类别 | 技术参数 |
|---|---|
| 真空性能 | - 泄漏率：＜1×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦检）<br> - 耐压等级：10⁻⁸ Torr ~ 大气压<br> - 密封材料：OFHC 无氧铜 + 不锈钢刀口 |
| 机械特性 | - 启闭时间：0.45±0.05 秒<br> - 循环寿命：＞500 万次<br> - 驱动方式：双作用气动（0.4~0.7MPa） |
| 材料兼容性 | - 阀体材质：316L VIM-VAR 不锈钢<br> - 表面处理：电解抛光 Ra≤0.1μm<br> - 耐温范围：-20℃~150℃ |
| 洁净度控制 | - 颗粒释放：＜0.5 颗粒/cm²（≥0.1μm）<br> - 兼容工艺：CVD/刻蚀/离子注入<br> - 灭菌耐受：150℃ 烘烤 72h |
| 认证标准 | SEMI E78-1103（真空阀）<br>ISO 15848-1 AH 级（泄漏/寿命）<br>CE PED 2014/68/EU（压力设备） |
所属系列与迭代型号
| 系列 | 型号 | 技术演进 | 适用设备平台 |
|---|---|---|---|
| VAT 系列角阀 | 0190-07970 | 标准工业版（KF40） | Centura® / Endura® |
| 高温增强型 | 0190-88765 | 250℃耐热密封 | Producer® S2i |
| 紧凑型 | 0190-70241 | KF25 接口/体积缩减40% | AKT PECVD 系统 |
| 第三方替代 | VAT 59040-01 | 需AMAT气路接口适配器 | 密封寿命风险 |
核心特征与技术优势
graph LRA[0190-07970] --> B[零泄漏密封]A --> C[毫秒级响应]A --> D[抗等离子腐蚀]B --> B1[金属弹性密封]C --> C1[低惯量气缸]D --> D1[Al₂O₃涂层]
- 极致密封技术
- 自对准刀口设计 补偿安装偏差（允许±0.3mm 错位）
- 通过 10 万次热循环测试（-196℃~150℃ 液氮冲击）
- 智能诊断功能
- 实时监测 密封磨损指数（SWI） 预测寿命
- 输出 启闭扭矩曲线 至设备 EAP 系统
- 严苛环境耐受
- 等离子体腐蚀速率＜0.1μm/年（Cl₂/HBr 环境）
- 符合 SEMI S2 抗震标准（5Grms@5-500Hz）
功能作用与应用领域
核心功能
- 隔离 工艺腔（Chamber）→ 传输腔（Transfer Module）
- 防止 交叉污染 与 颗粒迁移
- 维持 超高真空环境连续性
应用场景
| 行业 | 设备平台 | 安装位置 | 工艺保护需求 |
|---|---|---|---|
| 逻辑芯片 | Centura® AdvantEdge™ | 刻蚀腔与传输腔之间 | 防止蚀刻副产物扩散 |
| 3D NAND | Endura® Clover™ | ALD 反应腔负载锁 | 阻断氧渗透（＜1ppm） |
| DRAM | Producer® GT | PVD 靶材更换通道 | 维持溅射真空度 |
| 化合物半导体 | Applied Varian™ | 离子注入机束线隔离 | 抑制碳氢化合物污染 |
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