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APPLIED MATERIALS 0190-72680 关键子组件或精密备件
- 品牌：APPLIED MATERIALS
- 型号：0190-72680
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- 质保：365天
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产品详情
APPLIED MATERIALS 部件号：0190-72680
1. 产品说明 (Product Description)
Applied Materials 半导体制造设备（如刻蚀机、沉积设备、离子注入机等）中的 关键子组件或精密备件。具体功能需结合设备型号确定，常见类型包括：
- 气体输送部件（喷淋头、气体分配器）
- 真空系统组件（密封阀、真空规适配器）
- 等离子体控制模块（射频匹配器元件、电极绝缘环）
- 热管理单元（加热器基座、热电偶接口）
2. 产品参数 & 规格 (Parameters & Specifications)
- 公开参数：无（AMAT 专有技术，不对外公开）
- 典型规格范畴（推测）：
属性 推测范围 材料 高纯陶瓷/特种合金/石英/耐腐蚀聚合物 耐温性 -50°C ~ 500°C（依据工艺需求） 洁净等级 符合 SEMI F57 标准（无颗粒污染） 精度 微米级公差（±0.01mm 级） 兼容工艺 等离子体环境/腐蚀性气体/超高真空
3. 所属系列 (Series)
- 设备平台系列：
- Endura® PVD, Centura® CVD, Producer® GT, Varian VIISta® 等（需具体设备型号匹配）
- 部件系列：
- 可能属于 AMAT 的 "0190-" 通用备件序列，或特定模块的专用组件（如 "Gas Kit" 或 "RF Assembly" 系列）
4. 核心特征 (Key Features)
- ✅ 高可靠性设计：满足半导体设备 24/7 连续运行要求
- ✅ 超低污染：材料经特殊处理，避免晶圆金属污染
- ✅ 抗等离子体侵蚀：表面涂层或本体材料抵御离子轰击
- ✅ 快速更换接口：模块化设计减少设备停机时间
- ✅ 原厂认证：通过 AMAT 严格测试与设备兼容性验证
5. 功能与作用 (Function & Role)
- 核心功能： 确保设备在特定工艺步骤（如沉积、刻蚀）中 精确控制物理/化学环境（如气体分布、温度均匀性、等离子体稳定性）。
- 失效影响： 若损坏可能导致工艺偏移（厚度不均/刻蚀速率异常）、设备宕机或晶圆报废。
6. 用途 (Purpose)
- 维持 Applied Materials 设备在 先进制程（≤7nm） 中的工艺稳定性与良率。
- 作为 预防性维护（PM）或故障维修（CM） 的必备替换件。
7. 应用领域 (Application Fields)
| 层级 | 具体应用场景 |
|---|---|
| 核心行业 | 半导体芯片制造（Wafer Fab） |
| 工艺环节 | 薄膜沉积 (CVD/PVD/ALD) · 干法刻蚀 (Etch) · 离子注入 (Implant) · 清洗 (Cleaning) |
| 终端产品 | 逻辑芯片（CPU/GPU）· 存储芯片（DRAM/NAND）· 功率器件 · 先进封装 |
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