其他
AMAT 0100-71275 高精度双臂机械手
- 品牌：AMAT
- 型号：0100-71275
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
- 联系人：肖小姐
- 电话：15359021002（VX同号）
- WhatsApp：+86 15359021002
- Skype：+86 15359021002
- 邮箱：luckyxiao.909@gmail.com
- 外贸官网：www.shenzhencx.com
-
产品详情
AMAT 0100-71275 高精度双臂机械手
AMAT 0100-71275 产品说明
Applied Materials 0100-71275 是 300mm 晶圆厂真空传输系统 的 高精度双臂机械手，专为 超洁净环境（Class 1） 设计。该组件通过 磁流体密封关节 与 纳米级定位传感器（±0.1mm 重复精度） 实现晶圆在 负载锁（Loadlock）→ 传输腔（Transfer Chamber）→ 工艺腔（Process Module） 间的无污染传输，支持 3nm 以下逻辑芯片 的严苛颗粒控制要求（＜0.5粒子/晶圆）。
产品参数与技术规格
| 类别 | 技术参数 |
|---|---|
| 机械性能 | - 行程范围：Z轴 300mm / R轴 720° <br> - 重复精度：±0.1mm <br> - 最大速度：2m/s（晶圆平稳加速度＜0.3G） |
| 真空兼容性 | - 泄漏率：＜1×10⁻⁹ mbar·L/s <br> - 材料等级：316L VIM-VAR不锈钢 <br> - 密封技术：双道磁流体密封 |
| 洁净度控制 | - 颗粒释放：＜5颗粒/小时（≥0.1μm） <br> - 表面粗糙度：Ra≤0.2μm（电解抛光） <br> - 兼容清洗：H₂O₂/VHP灭菌 |
| 电气接口 | - 控制协议：SECS/GEM + DeviceNet <br> - 供电电压：48VDC±10% <br> - EMC认证：EN 61000-6-2 |
| 认证标准 | SEMI S2/S8（安全/Ergonomics）<br>ISO 14644-1 Class 1（洁净室）<br>CE/UL 508A（电气安全） |
所属系列与迭代型号
| 系列 | 型号 | 技术演进 | 适用设备平台 |
|---|---|---|---|
| 真空机械手系列 | 0100-71275 | 标准双臂（10kg负载） | Centura® / Endura® |
| 高速增强版 | 0100-89033 | 碳纤维臂/速度提升40% | Producer® GT |
| 兼容简化版 | 0100-70216 | 单臂设计（兼容200mm） | AKT PiVot™ |
| 第三方替代 | Kensington KRV300 | 需AMAT通信协议授权 | 稳定性风险高 |
核心特征与技术优势
graph TBA[0100-71275] --> B[零污染传输]A --> C[亚毫米级精度]A --> D[预测性维护]B --> B1[磁悬浮轴承]C --> C1[激光定位校准]D --> D1[振动频谱分析]
- 智能运动控制
- 轨迹优化算法 规避晶圆边缘碰撞（碰撞检测灵敏度 0.5N）
- 自适应温补 消除热漂移（±0.05mm@25±5℃）
- 数字孪生集成
- 实时上传 机械臂健康指数（RHI） 至 Fab MES
- 基于 AI 预测 皮带寿命（误差＜3%）
- 极致可靠性设计
- 无刷直驱电机 MTBF＞200,000 小时
- 通过 SEMI S22 抗震测试（7Grms@5-500Hz）
功能作用与应用领域
核心功能
- 在 ≤10⁻⁸ Torr 超高真空环境下传输晶圆
- 精准定位至工艺腔销钉（Pin）位置（误差＜0.2mm）
- 自动避让传输腔挡板阀（Gate Valve）
应用场景
| 行业 | 设备平台 | 典型传输路径 | 工艺要求 |
|---|---|---|---|
| 逻辑芯片 | Centura® Encore™ | FOUP → 刻蚀腔 → 量测腔 | 3nm GAA 架构 |
| 3D NAND | Endura® Clover™ | Loadlock → ALD 腔 → PVD 腔 | 256层堆叠 |
| 化合物半导体 | Producer® XP | Cassette → MOCVD 腔 → 退火腔 | GaN RF 器件 |
| 先进封装 | Akrion Automate | 载具 → 电镀槽 → 清洗站 | 2.5D硅中介层 |
维护与故障处理
高频故障解决方案
| 警报代码 | 故障现象 | 根因分析 | 解决措施 |
|---|---|---|---|
| ERR 28 | 真空度劣化 | 磁流体密封失效 | 更换密封单元（P/N:0100-75501） |
| ALM 107 | 位置偏差超标 | 编码器污染/皮带松弛 | 激光校准/张力调整 |
| WARN 332 | 电机温度异常 | 散热鳍片积尘/轴承磨损 | 真空吸尘/更换轴承 |
更换操作规范
- 安全准备：
- 解除真空（泄压至大气）并锁定能源（LOTO程序）
- 穿戴 Class 10 无尘服 + 氟橡胶手套
- 拆卸流程：
- 使用 专用校准治具（P/N:0100-88732）固定底座
- 按 对角线顺序 拆卸法兰螺栓（扭矩 12±0.5N·m）
- 密封所有接口（使用 AMAT 专用防尘盖 P/N:0030-22591）
- 调试验证：
- 执行 AutoTeach™ 位置自学习程序
- 进行 100次连续传输 测试（0颗粒增长）
栏目导航
新闻资讯
联系我们
电 话：15359021002
联系人：肖小姐
手 机：15359021002
邮 箱：luckyxiao.909@gmail.com
地 址：深圳市宝安区西乡街道臣田社区宝民二路东方雅苑2层B39